濕電子化學(xué)品,被稱為微電子產(chǎn)業(yè)的“工業(yè)味精”,是重要的支撐材料之一,其品質(zhì)直接影響電子產(chǎn)品的成品率、電性能及可靠性,也對先進(jìn)制造技術(shù)的產(chǎn)業(yè)化有著深遠(yuǎn)的影響,具有較高的產(chǎn)品附加值和技術(shù)門檻。
濕電子化學(xué)品分類標(biāo)準(zhǔn)
目前,我國的濕電子化學(xué)品通常執(zhí)行SEMI國際標(biāo)準(zhǔn),其關(guān)鍵技術(shù)指標(biāo)包括單項(xiàng)金屬雜質(zhì)、非金屬離子、顆粒數(shù)等,另外根據(jù)不同產(chǎn)品特點(diǎn)會相應(yīng)增加其他一些技術(shù)指標(biāo)。
按照SEMI等級的分類,濕電子化學(xué)品可劃分為G1-G5五個(gè)等級。應(yīng)用領(lǐng)域不同,對微電子化學(xué)品的純度要求也有所不同。
濕電子化學(xué)品下游應(yīng)用
濕電子化學(xué)品下游主要應(yīng)用領(lǐng)域包括半導(dǎo)體、顯示面板及光伏等,終端場景主要應(yīng)用于電子信息產(chǎn)品,例如智能手機(jī)、智能電視、智能汽車、電腦等。濕電子化學(xué)品的三個(gè)主要應(yīng)用領(lǐng)域?qū)Ξa(chǎn)品的等級要求有所不同:
半導(dǎo)體領(lǐng)域:純度要求較高,基本集中在SEMIG3、G4、G5水平,我國的研發(fā)水平與國際尚存在較大差距。其中分立器件對超凈高純試劑純度的要求要低于集成電路,基本集中在SEMIG2級水平,國內(nèi)企業(yè)的生產(chǎn)技術(shù)能夠滿足大部分的生產(chǎn)需求;8英寸及以下晶圓制程的中低端領(lǐng)域要求達(dá)到 G3、G4 水平,大硅片及12英寸晶圓制程的部分高端領(lǐng)域要求達(dá)到G5等級。
平板顯示和LED領(lǐng)域:等級要求為SEMIG2、G3水平,國內(nèi)企業(yè)的生產(chǎn)技術(shù)能夠滿足大部分的生產(chǎn)需求。
光伏太陽能電池領(lǐng)域:一般只需要SEMIG1級水平,是目前國產(chǎn)超凈高純試劑的主要市場。
濕電子化學(xué)品工藝流程
電子濕化學(xué)品的主要工藝流程包括原料接收、純化、吸收、混配等工藝,制得的成品包裝入包裝桶或槽車中,檢驗(yàn)合格后入庫。濕電子化學(xué)品對純度和潔凈度要求很高,在生產(chǎn)、檢測、包裝、運(yùn)輸各環(huán)節(jié)均有嚴(yán)格要求,其中的純化技術(shù)更是關(guān)鍵點(diǎn),直接影響產(chǎn)品品質(zhì)。
濕電子化學(xué)品品種眾多,產(chǎn)品制備工藝、設(shè)備要求各不相同,需根據(jù)不同品種特性確定工藝路線。提純工藝段主要采用蒸餾、亞沸蒸餾、等溫蒸餾、減壓蒸餾以及升華、化學(xué)處理、氣體吸收等技術(shù),分離金屬雜質(zhì)。采用超微過濾器(PTFE膜)過濾除去顆粒性雜質(zhì)。結(jié)合不同的顆粒、金屬雜質(zhì)、非金屬雜質(zhì)分析測試技術(shù)以達(dá)到相應(yīng)標(biāo)準(zhǔn)的潔凈度。
優(yōu)異的過濾工藝提升濕電子化學(xué)品品質(zhì)
Ezinstall PFA Housing
電子化學(xué)品性質(zhì)多樣性,要求過濾產(chǎn)品必須有廣泛的化學(xué)兼容性,大立 自主研發(fā)的PFA Housing采用全氟結(jié)構(gòu),化學(xué)性能穩(wěn)定,能適配高腐蝕性、高溫度、高壓強(qiáng)的過濾環(huán)境,低殘留, 同時(shí)PFA全氟濾殼結(jié)構(gòu)經(jīng)過優(yōu)化,安裝便捷,濾芯更換方便,有利于在生產(chǎn)中減少停機(jī)時(shí)間。
BTF-All Fluoropolymer Filter Cartridges
同樣采用全氟配件制成的BTF系列濾芯,在酸、堿及其他苛刻的化學(xué)料液過濾工藝段都有著穩(wěn)定的過濾表現(xiàn),超大的過濾面積高性能濾材在確保超高的截留性能的同時(shí)也為產(chǎn)品提供了很好的通量。全氟結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)保證產(chǎn)品的超低析出,很大程度保證產(chǎn)品的潔凈度。